• 日本新宇宙手持式单一半导体材料气体检测仪XP-703DⅢ

    详细信息

     品牌:日本新宇宙  型号:XP-703DⅢ  检测对象:H2丨AsH3丨B2H6丨SiH4丨PH3  
     检测原理:热线型半导体式  检测浓度:1.0ppm丨0.5ppm丨0.2ppm丨0.5ppm  采样方式:自动吸引式  
     应用行业:半导体制造    
    产品详情
    PRODUCT DETAILS

    产品描述:半导体材料气体检测


     

    可检测微量的半导体材料气体泄漏,可对半导体工厂等使用毒性气体的场所进行泄漏检测,

    也可对氢气相关设备提供安全保障。

     

    01.产品特点

    ·  小型·轻量

    ·  可以检查非常微量的气体泄漏

    ·  适合氢气相关设备的安全防护

    ·  搭载的泵有自动停止功能

    ·  搭载[自动气体排气模式]功能

    ·  保护等级约为IP22(JIS C  0920)※安装皮套时

     

    02.产品用途

    ·  半导体工厂/石油化学工厂等

    ·  在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测

     

    03.产品参数
    型号:XP-703DII
    检测对象气体:半导体材料气体(砷烷、磷化氢、乙硼烷、硅烷、氢气)
    检测原理:热线型半导体式
    采样方式:自动吸引式
                                             砷烷                  磷化氢             乙硼烷                 硅烷                  氢气
                                             AsH3                  PH3                 B2H                   SiH4                   H2
    可检测泄漏量[Pa·m³/s]:2.53x10-7       1.52x10-7         1.01x10-7           2.53x10-7         5.07x10-7
    可检测浓度[ppm]:0.5        0.3         0.2         0.5             1.0
    反应时间:10秒以内(探测的气体为可检测浓度的3倍时,灵敏度设定为[4])
    报警方式:发出断断续续的声音及报警deng闪烁
    电源:5号碱性干电池(LR6)2节
    连续使用时间※1:约12小时(5号碱性干电池)[在常温·常湿条件下]
    保护等级※2:IP22 相当※3
    使用压力范围:大气压(800~1100hpa)
    使用温湿度范围:0℃~40℃、85%RH以下(无结露现象)
    外形尺寸:W38XH130XD32mm(突出部份除外)
    重量:约190g(包含电池、皮套)
    标配附件:皮套、引导管过滤片、替换用过滤芯、导气管、点检气体、手提挂绳、5号碱性干电池2节等
    ※1.根据不同环境条件、使用条件、保存期限、电池厂家,有时会有不同。
    ※2.安装皮套时。
    ※3.IP22相当是指机器内部危险场所附近所对应的保护构造(IP2X)、与垂直方向呈15°范围内掉落的水滴不会引起机器内部异常的防浸水构造(IPX2)。

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